Chùa được xây dựng năm 1732 thời Vua Lê Duy Phường (1729-1732). Chùa là nơi thờ Phật, thờ Mẫu, là nơi sinh hoạt  văn hóa, tín ngưỡng của nhân dân. Nơi đây vào những năm 1955-1957 và 1965-1967 Học viện Chính trị, Bộ Quốc phòng đã về ở và làm việc.

Chùa hiện nay vẫn giữ được những nét kiến trúc nghệ thuật cơ bản từ ngày mới xây dựng: Tam quan bề thế cao 10m, rộng 2,5m, sân chùa rộng 263m2. Nhà tiền đường kiến trúc nghệ thuật theo lối Kẻ truyền có 5 gian, trên các ván lá gió đều được chạm nổi các đề tài tứ linh: Long, Ly, Quy, Phượng và tứ quý: Tùng, Cúc, Trúc, Mai. Nối liền nhà tiền đường với thượng điện là 4 cột đá được đẽo gọt công phu, tinh xảo. Trên các cột đá có khắc các bài ký và các hoa văn, nét chạm khắc tinh vi, thể hiện những đường hoa văn mềm mại uyển chuyển. Trên cùng đầu cột khắc hình tượng mặt trời, xung quanh là các cụm mây lửa, phía dưới chạm nổi hàng đại tự: Tây Phúc thiền tự, nét chạm sâu, tinh tế, thể hiện nghệ thuật điêu khắc đá đạt đến trình độ cao. Trong chùa còn gần 20 pho tượng, đặc biệt có bộ Tam thế tạc bằng gỗ có giá trị nghệ thuật.

Chùa Tây phúc nằm cạnh sông Cầu, có phong cảnh thiên nhiên đẹp, không gian thoáng đãng, thuận lợi cho nhân dân đến lễ vào các ngày rằm, là địa chỉ hấp dẫn du khách trong và ngoài tỉnh Thái Nguyên đến thăm viếng, du lịch.